1. Startseite
2. Bauteile für die Halbleiter-, Solar- und Elektroindustrie

Bauteile für die Halbleiter-, Solar- und Elektroindustrie

Bei der Herstellung von Solarmodulen, Halbleitern und anderen elektronischen Bauteilen kommen immer häufiger Kunststoffe zum Einsatz. Insbesondere beim Handling der meist empfindlichen Elemente haben Kunststoffe aufgrund ihrer Zähigkeit, ihrer Verschleißfestigkeit und ihrer chemischen Beständigkeit deutliche Vorteile gegenüber metallischen und auch keramischen Werkstoffen.

Hinzu kommen die allgemein guten Isolations- und dielektrischen Eigenschaften. Beim Einsatz von Kunststoffen besteht zwar dadurch grundsätzlich die Gefahr der elektrostatischen Aufladung, aber die Materialien können durch entsprechende Zusätze eine definierte elektrostatische Ableitfähigkeit (ESD) erhalten. Somit kann die Gefahr von elektrostatischer Entladung nicht nur bei der Fertigung von empfindlichen elektronischen Bauteilen sondern auch in anderen, z.B. explosionsgefährdeten Bereichen drastisch gemindert werden.

Vorteile der Kunststoffe allgemein

• Hohe Zähigkeit und spezifische Festigkeit
• Hohe Chemikalien- und Korrosionsbeständigkeit
• Elektrostatisch ableitende Einstellungen möglich

Hochleistungskunststoffe bringen über die bereits beschriebenen Eigenschaften hinaus weitere Vorteile mit ein. Vor allem die Prozesse der Silizium-Bearbeitung bzw. Wafer-Herstellung fordern eine extreme Chemikalienbeständigkeit verbunden mit hohen Anforderungen an die Materialreinheit, die Verschleißfestigkeit und die Maßstabilität. Die Hochleistungskunststoffe sind hier den meisten anderen Werkstoffen überlegen. Sie sind hoch rein, gasen im Vakuum kaum aus, haben nur eine geringe Kontamination mit Fremdstoffionen und zeigen eine hohe Plasmaresistenz. Wie alle anderen Kunststoffe können auch die Hochleistungskunststoffe mit einer elektrostatischen Ableitfähigkeit (ESD) versehen werden.

Mehr ...