Kunststoffe in der Halbleiter-, Solar- und Elektroindustrie
Vorteile der Hochleistungskunststoffe
Vor allem bei den Prozessschritten der Silizium-Bearbeitung, beim Schneiden und Polieren, bei den Beschichtungs- und Ätzprozessen sowie beim Handling und bei den Mess-, Prüf- und Verpackungsprozessen werden die Hochleistungskunststoffe eingesetzt. Ihre Eigenschaften:
- hohe Materialreinheit mit geringer Ionenkontamination
- hohe Plasmabeständigkeit
- hohe Maßstabilität.
Materialauswahl
Grundsätzlich können alle Kunststoffe bei der Herstellung von Solarmodulen, Halbleitern und anderen elektronischen Bauteilen eingesetzt werden. Allerdings stellen die guten elektrischen Isolationseigenschaften der Kunststoffe oft ein Problem dar, da es in der Anwendung zu elektrostatischer Aufladung und dadurch zu Potentialentladungen kommen kann.
Kunststoffe sind im Allgemeinen elektrische Isolatoren mit einem Oberflächenwiderstand von mehr als 1012 Ohm. Sie können aber durch die Zugabe bestimmter Füllstoffe elektrisch leit- (AST) bzw. ableitfähig (ESD) gemacht werden. Die Auswahl dieser Substanzen muss jedoch sorgfältig erfolgen, da anwendungsbedingter Abrieb gegebenenfalls zur Kontamination des Fertigungsprozesses bzw. der elektronischen Komponenten führen kann.
Oberflächenwiderstand verschiedener Hochleistungskunststoffe
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